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工業(yè)VOCs治理
行業(yè)概述
INDUSTRY OVERVIEW
半導體VOCs治理
半導體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。揮發(fā)性有機廢氣主要來(lái)源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序，在這些工序中要用有機溶液（如異丙醇對晶片表面進(jìn)行清洗，其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機廢氣的來(lái)源之一；同時(shí)，在光刻、刻蝕等過(guò)程中使用的光阻劑（光刻膠）中含有易揮發(fā)的有機溶劑，如醋酸丁酯等在晶片處理過(guò)程中也要揮發(fā)到大氣中，是有機廢氣產(chǎn)生的又一來(lái)源。半導體制造工藝中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分。在工藝過(guò)程中，這些有機溶劑大部分通過(guò)揮發(fā)成為廢氣排放。
廢氣來(lái)源
SOURCES OF EXHAUST GASES
溶劑萃取
吸附
生物
膜分離
氧化
焚化
廢氣成分
EXHAUST GAS COMPOSITION
氨氣
二氧化硫
氮氧化物
氯氣
氟化物
有機揮發(fā)物
硝酸鹽
硫酸鹽
非甲烷總烴
硫酸霧
氟化物
丙酮
甲醇
二甲苯
異丙醇
主要來(lái)源于芯片或者是線(xiàn)路板生產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過(guò)程中。
排放標準
EMISSION STANDARDS
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序號
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控制項目
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排氣筒高度(m)
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征求意見(jiàn)稿允許排放速率 (kg/h)
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93版排放量放速率 (kg/h)
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檢查位置
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1
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氨
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15
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0.6
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4.9
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車(chē)間或生產(chǎn)設施排氣筒
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2
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三甲胺
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15
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0.15
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0.54
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3
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硫化氫
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15
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0.06
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0.33
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4
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甲硫醇
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15
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0.006
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0.04
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5
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甲硫醚
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15
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0.06
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0.33
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6
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二甲二硫
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15
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0.15
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0.43
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7
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二硫化碳
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15
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1.5
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1.5
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8
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苯乙烯
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15
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3.0
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6.5
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9
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臭氣濃度
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排氣筒高度（m）≥15
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標準值 （無(wú)量綱）1000
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標準值 （無(wú)量綱）2000
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處理難題
TREATMENT CHALLENGES
高溫廢氣處理
半導體制造過(guò)程中產(chǎn)生的廢氣通常包含高溫氣體和有害氣體，如氨氣、氟化物等。處理這些高溫廢氣需要采用高效的熱能回收和處理技術(shù)，以確保不會(huì )對環(huán)境和人體造成危害。
精細顆粒物處理
半導體制造過(guò)程中產(chǎn)生的廢氣中可能含有微小顆粒物，如粉塵、金屬顆粒等，這些顆粒物對環(huán)境和人體健康構成潛在風(fēng)險。因此，如何有效地捕捉和處理這些微小顆粒物是一個(gè)難點(diǎn)。
難降解有機物處理
半導體制造過(guò)程中使用的化學(xué)物質(zhì)中可能含有難降解的有機物，如有機溶劑、揮發(fā)性有機化合物（VOCs）等。處理這些難降解有機物需要采用高效的氧化、吸附或者其他處理技術(shù)，以確保廢氣排放符合環(huán)保標準。
廢氣處理系統的成本和能耗
建設和運行高效的廢氣處理系統需要大量的投資和能源消耗，如何在保證廢氣處理效果的前提下降低處理成本和能耗是一個(gè)難點(diǎn)。
工藝流程
PROCESS FLOW
羿清優(yōu)勢
ECLEAR ADVANTAGES
實(shí)力保障
國家高新技術(shù)企業(yè)中英合資團隊20余項廢氣治理技術(shù)
品質(zhì)保證
200+項目案例穩定運行無(wú)后顧之優(yōu)
售后服務(wù)
擁有售后團隊免費提供24小時(shí)在線(xiàn)服務(wù)
技術(shù)團隊
團隊成員擁有十余年廢氣治理工作經(jīng)驗,其中3名注冊暖通工程師名注冊給排水工程師，2名建造師
源頭廠(chǎng)家
設備工程性?xún)r(jià)比高為您更好的控制成本
環(huán)保達標
全過(guò)程管理服務(wù)讓您輕松應對環(huán)保局驗收滿(mǎn)足新版廢氣 排放標準
羿清環(huán)保關(guān)聯(lián)設備
RELATED EQUIPMENT
沸石轉輪+CO
沸石轉輪裝置+催化燃燒CO主要適用于處理高濃度CO廢氣。通常，CO濃度在500 ppm（體積分數）或更高時(shí)，才需要采用沸石轉輪裝置+催化燃燒CO進(jìn)行處理。如果CO濃度較低，則可能使用其他廢氣處理技術(shù)更加適合。
沸石轉輪裝置是一種用于分離氣體混合物中成分的技術(shù)。這種裝置通常包含許多沸石分子篩輪，沸石分子篩輪可以選擇性地吸附某些分子而不吸附其他分子，從而實(shí)現氣體混合物中的成分分離。催化燃燒CO是一種將CO（一種有毒有害氣體）轉化為CO2（一種相對無(wú)害的氣體）的技術(shù)。這種技術(shù)使用催化劑來(lái)加速CO與氧氣反應，從而減少CO的濃度。
沸石轉輪+TO
沸石轉輪+TO直燃爐是一種高效、環(huán)保的工業(yè)廢氣處理設備。其通過(guò)物理吸附和高溫焚燒兩種方式，能夠實(shí)現對工業(yè)廢氣中各種有機污染物的有效處理。該設備具有高效節能、適用范圍廣、易于維護等優(yōu)勢，在未來(lái)的工業(yè)廢氣處理領(lǐng)域具有廣闊的應用前景。
沸石轉輪+RCO
沸石轉輪+RCO催化燃燒設備是目前國內有機廢氣處理領(lǐng)域應用較成熟、實(shí)用的工藝。采用吸附－脫附－冷卻三項連續程序，邊吸附邊脫附。沸石轉輪先對有機廢氣吸附收集、壓縮、提高濃度，然后再把高濃度的廢氣分子從沸石轉輪中脫附出來(lái)，送入催化氧化爐（CO爐）中進(jìn)行無(wú)焰燃燒。達到對有機廢氣凈化的目的。沸石轉輪+RCO設備主要由廢氣預處理系統、沸石轉輪吸附濃縮系統、脫附系統、催化燃燒系統、冷卻干燥系統和自動(dòng)控制系統等組成。
沸石轉輪+RTO
沸石轉輪+RTO工藝是現在廢氣治理行業(yè)火熱的工藝之一，相比于其他的新材料，新能源、化工、半導體等行業(yè)直接RTO焚燒，沸石轉輪RTO工藝的達標性能和安全性能非常的有保障。
沸石轉輪RTO的工作原理是利用高溫下的燃燒反應將廢氣中的有機物氧化為無(wú)害的二氧化碳和水，從而達到凈化廢氣的目的。其核心是一個(gè)旋轉的熱交換器，內部填充有沸石等吸附材料。
噴淋塔
噴淋塔作為環(huán)保廢氣處理的一種處理設備而存在，根據工作原理分為循環(huán)水噴淋塔，堿液噴淋塔，酸液噴淋塔（別名：酸洗塔）。根據塔體材質(zhì)分為玻璃鋼噴淋塔、pp噴淋塔、不銹鋼噴淋塔。根據廢氣性質(zhì)不一樣選擇合理的噴淋材質(zhì)和噴淋工藝。噴淋塔是一種重要的工業(yè)廢氣處理設備，其工作原理是利用水和動(dòng)力技術(shù)將液體或氣體以霧狀的形式噴灑到廢氣中，以此來(lái)去除廢氣中的有害物質(zhì)。
洗滌塔
洗滌塔是一種成熟的廢氣處理設備， 廣泛應用于工業(yè)廢氣處理、除塵 等方面的前處理。 氣體進(jìn)入塔內，與塔內洗滌液 充分接觸、吸附、溶解，達到凈化效果。羿清洗滌塔設計形式多樣，根據項目應用場(chǎng)地可 采用立式或臥式結構。 常用洗滌塔設備材質(zhì)有PP、FRP及不銹鋼， PP及FRP常用于化學(xué)吸收塔， 具有耐酸耐堿耐腐蝕的特點(diǎn)， 不銹鋼材質(zhì)可用于高溫的廢氣。
生物濾池
生物濾池是通過(guò)有效的除臭菌種和合理的設備結構，使大分子或結構復雜的有機物經(jīng)異化作用后氧化分解為簡(jiǎn)單的水、二氧化碳等無(wú)機物。
羿清環(huán)保生物濾池，相比同行的設備進(jìn)行了改良，采用預處理、生物處理深度吸附一體化處理工藝，保證了生物處理階段的進(jìn)氣穩定性，同時(shí)未端配置深度處理，在廢氣排放超過(guò)設計排放濃度時(shí)，可以保證廢氣達標排放。
耦合催化一體機
設備采用不銹鋼固定撬裝式全密封結構，安裝便利，內部涂敷不銹鋼專(zhuān)用防腐材料，可耐酸堿廢氣環(huán)境，設備使用壽命長(cháng)，由預處理段、耦合反應裝置、陣列抽屜式模塊組成。貴金屬耦合催化網(wǎng)激發(fā)產(chǎn)生的高能粒子場(chǎng)，通過(guò)紫外波段照射到自主制備貴金屬和二氧化鈦納米顆粒的耦合協(xié)通效應，將VOCs有機廢氣裂解為二氧化碳、水等，未能完全降解的其他廢氣分子可被氧化為水溶性小分子及部分活性自由基等。
活性炭吸附箱
活性炭吸附箱是一種廢氣過(guò)濾，吸附臭味的環(huán)保機械商品，此設備是潔凈較濃度較高的有機化學(xué)廢氣和噴涂廢氣的吸附可利用率活性炭高強度吸附水平，當廢氣由離心風(fēng)機增加動(dòng)力，負壓力進(jìn)到吸附箱再進(jìn)入活性炭吸附層，對于有機溶液的廢氣有非常好的吸附功效。
耦合催化廢氣處理設備
設備采用不銹鋼固定撬裝式全密封結構，安裝便利，內部涂敷不銹鋼專(zhuān)用防腐材料，可耐酸堿廢氣環(huán)境，設備使用壽命長(cháng)，由預處理段、耦合反應裝置、陣列抽屜式模塊組成。貴金屬耦合催化網(wǎng)激發(fā)產(chǎn)生的高能粒子場(chǎng)，通過(guò)紫外波段照射到自主制備貴金屬和二氧化鈦納米顆粒的耦合協(xié)通效應，將VOCs有機廢氣裂解為二氧化碳、水等，未能完全降解的其他廢氣分子可被氧化為水溶性小分子及部分活性自由基等。
RCO蓄熱式催化燃燒
蓄熱式催化燃燒（RCO）是一種利用催化劑使有機廢氣分解成無(wú)害的二氧化碳和水等小分子的方法。由于在反應中需要消耗熱量，因此稱(chēng)為蓄熱式催化燃燒法。
RCO裝置主要由凈化室、預熱室和高溫氣體出口三部分組成，其中預熱室的溫度一般在300~600°C之間；凈化室內設有填料層，用以吸附有機廢氣中的污染物；高溫氣體出口與大氣相通，以回收熱量。
RTO蓄熱式氧化爐
蓄熱式熱力焚化爐英文名為“Regenerative Thermal Oxidizer”，故簡(jiǎn)稱(chēng)為“RTO”。其原理是把有機廢氣加熱到800攝氏度以上，使廢氣中的VOC氧化分解成二氧化碳和水。氧化產(chǎn)生的高溫氣體流經(jīng)特制的陶瓷蓄熱體，使陶瓷體升溫而“蓄熱”，此“蓄熱”用于預熱后續進(jìn)入的有機廢氣，從而節省廢氣升溫的燃料消耗。陶瓷蓄熱體應分成三個(gè)區域室，每個(gè)蓄熱室依次經(jīng)歷蓄熱-放熱-清掃等程序，周而復始，連續工作。蓄熱室“放熱”后應立即引入部分已處理合格的潔凈排氣對該蓄熱室進(jìn)行清掃(以保證VOC去除率在95%以上)，只有待清掃完成后才能進(jìn)入“蓄熱”程序。
蓄熱式熱力氧化處理系統在燃燒器的作用下預熱至700℃后，廢氣旁通閥門(mén)關(guān)閉，廢氣正通閥門(mén)打開(kāi)，廢氣風(fēng)機啟動(dòng)運行，廢氣先經(jīng)蓄熱室預熱到700℃左右，然后進(jìn)入氧化室充分氧化分解，煙氣溫度達到800℃左右，廢氣中的有機成分完全氧化分解，產(chǎn)生的煙氣進(jìn)入另一組蓄熱室，在蓄熱室進(jìn)行換熱，通過(guò)引風(fēng)機排放到大氣。本熱氧化裝置共設三個(gè)蓄熱室，三個(gè)蓄熱室呈一字形布置，可自動(dòng)定期輪流切換蓄熱室的工作狀態(tài)。
CO催化燃燒
催化燃燒是用催化劑使廢氣中可燃物質(zhì)在較低溫度下氧化分解的凈化方法。所以，催化燃燒又稱(chēng)為催化化學(xué)轉化。由于催化劑加速了氧化分解的歷程，大多數碳氫化合物在300~450℃的溫度時(shí)，通過(guò)催化劑就可以氧化完全。
與熱力燃燒法相比，催化燃燒所需的輔助燃料少，能量消耗低，設備設施的體積小。但是，由于使用的催化劑的中毒、催化床層的更換和清潔費用高等問(wèn)題，影響了這種方法在工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中的推廣和應用。
TO直燃式氧化爐
直燃式焚燒爐是通過(guò)高溫氧化原理對VOCs進(jìn)行處理，常規爐型的內部為空腔結構，可以根據客戶(hù)需求在爐體外搭配各類(lèi)熱回收裝置，如換熱器、鍋爐等。直燃式焚燒爐能夠廣泛用于高濃度、含顆粒物等復雜工況的廢氣，并有效回收氧化過(guò)程中所釋放的熱能。直燃式焚燒爐外形多樣化，可以根據現場(chǎng)空間特點(diǎn)進(jìn)行設計，如方形腔體、圓柱形腔體，還可以做成立式爐、臥式爐、L形爐等。
